关于低温泵你了解多少呢？

2021-01-24 15:15:55

来源：一大把网站

低温泵又叫是冷凝泵，是利用低温表面冷凝气体的一种真空泵。使用低温泵可以获得清洁真空，而且这些真空抽气速率最大、极限压力最低，所以低温泵被广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产等各个领域。

1.低温泵口热负荷的影响：低温泵入口障板的热负荷是有要求的，一般是按300K气体计算，如果入口温度过高，应立即将热源屏蔽。否则可能使入口障板温度超过100K，对吸附阵的温度以及捕获气体都是有影响的。

2.低温泵突然断电对运行的影响：低温泵连续运行中,活性炭吸附氦已饱和。如果吸附阵回温，氦气将释放出来，通常是因为短时间停电。水蒸气也将从二级冷屏及障板上解吸出来，被吸附阵吸附，如果有这种情况，低温泵需要进行再生处理。

3.低温系配置压机的氦气纯度：氖是最常见杂质，可能凝在一级成二级冷头腔内的低温表面,导致密封件的磨损，所以一般氦压机需要充以高纯氩，氦压机检修时要特别注意充氦方法、不能带入空气,否则会使管路堵塞。

4.油雾对低温泵的影响：使用低温泵时，若真空室中有油雾气源，会导致吸附阵中的活性炭受污染，使其失去抽气能力。特别需要注意的是，在低温泵再生时，也同样需要防止油污染活性炭。

5.抽除有危险的气体：低温泵捕获之后，再生时释放出来，危及环境及人身安全，所以低温泵不宜用于抽除危险性气体。

6.低温系上的安全阀：低温泵再生时，捕获气体如果瞬间释放出来，主要是由于温度升高，这样就造成低温泵腔体内压力升高，泵的安全会受到严重威胁，为此，低温泵必须安装安全阀，以便超压时放气。安全阀需要定期检査，大型真空系统，低温泵有时安装高度较高,操作人员不易操作,更需要注意安全阀的可靠性,否则会造成大事故。

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