黄光区-防静电材料应用

半导体制造业中的黄光区，不仅工艺复杂、设备维护频繁而且设备也最为昂贵，因此，黄光区是每个半导体制造企业最为关注的区域之一。

黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区

包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序

（因为光刻胶对其他光的波长比较敏感，黄光照明避免了光辐照后可能产生的光刻胶变性，就像传统的照相技术，胶片要在暗室才能洗出来。）

本文主要结合天津市某超导净化厂房 ISO5 级黄光区应用实例对洁净区静电问题及处理方法（应用材料）进行探讨:

黄光区是此洁净厂房核心部件加工区域，空调面积 42㎡ ，建筑层高 3.7m，区内负荷 46.95kW，黄光区技术设计参数如表 1 所示 。

该工程通过采用 Epoxy 技术，对地面，墙、柱、天花板做不同厚度 Epoxy 涂刷，成功地解决了地面防尘问题，又解决了区域防静电问题。

最后考虑人员与物料传输过程也会对黄光区造成污染，因此还要设置气阻室、空气浴尘室以及传递箱，如上图所示，所有这些措施只有一个目的就是维持黄光洁净区域的洁净度，确保生产工艺安全可靠。