2018未来科学大奖揭晓—“浸润式微影之父”获“数学与计算机科学奖”

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未来科学大奖设立于2016年1月17日，是中国大陆第一个由科学家、企业家群体共同发起的民间科学奖项。设置“生命科学”和“物质科学”、“计算机与数学奖”三大奖项，单项奖金100万美元。未来科学大奖在设置上借鉴了诺贝尔奖、图灵奖、菲尔兹奖等国际知名科学奖项的经验，同时也做了创新。比如，在捐赠模式上，其他奖项多由一个家族或个人捐赠，未来科学大奖每项奖项由4位捐赠人共同捐赠。

未来科学大奖关注原创性的基础科学研究，奖励为大中华区科学发展做出杰出科技成果的科学家（不限国籍）。奖项以定向邀约方式提名，并由优秀科学家组成科学委员会专业评审，秉持公正、公平、公信的原则，保持评奖的独立性。

未来科学大奖科学委员会目前由21位国际知名科学家组成。

生命科学奖委员包括杜克大学董欣年、芝加哥大学何川、赛诺菲集团刘勇军、斯坦福大学骆利群、北京大学饶毅、北京生命科学研究所王晓东、北京大学谢晓亮；

物质科学奖委员包括斯坦福大学鲍哲南、中国科学院物理所丁洪、上海交通大学季向东、清华大学毛淑德、麻省理工学院文小刚、加州大学伯克利分校杨培东、美国Scripps研究所余金权；

数学与计算机科学奖委员包括斯坦福大学李飞飞、普林斯顿大学李凯、香港科技大学励建书、布朗大学舒其望、北京大学田刚、美国西北大学夏志宏、台湾交通大学张懋中。

官方宣传片如下：（时长7分10秒）

历届得主如下：

年份	生命科学奖	物质科学奖	数学与计算机科学奖
2016年	卢煜明 （香港中文大学）	薛其坤 （清华大学）
2017年	施一公 （清华大学）	潘建伟 （中国科学技术大学）	许晨 （北京大学）
2018年	李家洋 袁隆平 张启发	马大为 周其林 冯小明	林本坚

“未来科学奖”有三大特点：一、这是中国大陆第一个民间科学大奖；二、以“未来”两个字命名，有着特殊的意义。因为一般的奖都是有关过去的成就，而不强调未来；三、这不同于个人或家族设奖，而是由企业家联名捐赠设立的。“未来科学大奖”的落地，填补了中国大陆民间权威科技奖项的空白，也让中国科学在走向强大未来的路上有了新的助力。“未来科学大奖是第一个延生于中国民间公益组织，由企业家群体发起成立的奖项，填补了中国民间权威科技奖项的空白；瑞典有诺贝尔奖，香港有邵逸夫奖，而未来科学大奖作为后起之秀将产生更加深远的影响 。

（杨振宁评）

2017“数学与计算机科学奖”获得者为许晨阳（Chenyang XU）

AMiner官网许晨阳主页：https://www.aminer.cn/profile/chenyang-xu/5710a96e76d911058c7b8653

“数学与计算机科学奖”表彰他在双有理代数几何上做出的极其深刻的贡献。

许晨阳在与C. Hacon和 J. McKernan的合作研究中发展了具有对数结构的一般型空间序对的有界性理论。 这一理论的一项主要应用是证明了一般型代数簇的自同构群的有限性。这极大地推进了一百多年前Hurwitz在代数曲线情形的古典结果与二十世纪八十年代肖刚在代数曲面情形的工作。这一理论的其他重要应用包括Shokurov的ACC猜想的完全解决，以及在任意维数推广Deligne-Mumford的稳定曲线理论。许晨阳与李驰合作建立了用极小模型纲领研究Fano代数簇的K-稳定性的一种理论架构，可以将涉及K-稳定性的问题归结为特殊检试构型的研究。许晨阳在与C. Hacon的一篇论文中证明在特征为p情形下的三维代数簇上存在多重theta翻转操作(此处p是大于五的素数)，推广了日本数学家森重文在特征零情形的工作。在与J. Kollar的合作中，许晨阳发展了用极小模型纲领研究对偶复形的理论；特别，他们研究了具有对数结构的Calabi-Yau序对的对偶复形，证明了其基本群的有限性质，从而解决了Kontsevich-Soibelman猜想在维数不超过四时的情形。

许晨阳教授发展了极为可观的理论和突破性技术，解决了一系列代数几何学中很多不同领域的重要几何问题, 得到国际同行的高度评价，同时为代数几何学在中国的发展作出了重大的贡献。

2018“数学与计算机科学奖”获得者为林本坚（Burn J. LIN）

“数学与计算机科学奖”表彰他开拓浸润式微影系统方法，持续扩展纳米级集成电路制造，将摩尔定律延伸多代。

林本坚博士一系列突破性的创新所开拓的浸润式微影（也称光刻）方法，革新了集成电路的制程，使先进半导体芯片的特征尺寸能持续缩减为细微纳米量级，在过去十五年以及可预见的未来，为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献。

传统的“干式”微影自1959年半导体工业界发明平面积成电路以来被持续使用了四十年，然而受限于基本光学衍射，在90年代后期，用该方法制造特征尺寸小于65纳米的芯片面临无法逾越的瓶颈。林本坚博士预见昂贵的“干式”微影技术将进入死角，建议使用浸润式或「湿式」微影，该方法是一种新的微影工序，透过液体介质置换透镜和晶圆表面之间的气隙以提高光学解析精度。虽然原始的浸润式概念在80年代曾提出过，但距离可实现的方法很远。为使得全面表征及优化浸润式微影系统，林本坚定义了并导出了关键性能指标和缩放公式，为极高解析度的三维浸润式微影光学系统规范了必须遵行的缩放定律。他还研发出克服液体中微气泡形成的方法，开拓了在热力学极限下，经由水而衍射的微影工序。他的一系列发明在科学和工程上证实了“湿式”微影方法可用于最先进的IC制程，他的突破性发明和持久的技术引领促使全球半导体工业界改用“湿式”微影方法。在过去的十五年中浸润式微影方法用最有成本效益的193nm ArF为激光源显影，将IC技术节点从65nm循产业路线图持续降至7nm，使得摩尔定律得以持续延伸了七代。根据IEEE近期的数据统计，浸润式微影技术制造了至少世界上80％的晶体管。

自六十年前发明集成电路以来，半导体技术推动了人类历史上最大的工业及社会化革命。在我们庆祝集成电路诞生六十周年之际，将未来科学大奖的数学和计算机科学奖 - 授予这位极具成就的科学家和发明家，半导体工业界的英雄，「浸润式微影之父」不仅恰当且意义深远。