华特气体：光刻气产品再获半导体设备生产商认证
来源：东方财富网、华特气体、GIGAPHOTON，化工新材料整理
10月10日，华特气体发布公告称，四款光刻气产品 （Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）均通过了日本 GIGAPHOTON 株式会社的合格供应商认证。基于此，华特气体成为了国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。
华特气体创建于1999年，以广东佛山为产品研发基地，分别在广东、江西、浙江、陕西、湖北、湖南、香港等地设立了十余家全资子公司，现已成为国内最大的民营特种气体及相关设备供应商之一，同时产品出口到50余个国家和地区。
华特气体专业从事气体及气体设备的研发和生产，气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、标准气体、激光气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列共200多个品种，并不断研发新产品满足市场需求。
日本GIGAPHOTON 株式会社创立于2000年，是半导体光刻用准分子激光机、其他用途准分子激光机以及极紫外光刻(EUV)的开发商和制造商。日本 GIGAPHOTON 株式会社是次世代光刻光源的极端远紫外光源（EUV）的开发者 并且实现了量产。
近年来，日本GIGAPHOTON 株式会社不仅在包含日本的亚洲市场获得几近全数半导体业者的青睐，欧美市场也在快速增长。
华特气体表示，日本GIGAPHOTON株式会社对四款光刻气产品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、 F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）的认证是对华特气体该系列产品质量及在光刻气生产领域的生产能力的认可，有利于提高华特气体在光刻气领域内的认可度和知名度，对于华特气体境内外销售光刻气产品都具有积极意义。
半导体工业用的气体统称电子气体，亦称光刻气，按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支，按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。
近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。