教程| 学习XPS小知识

 来源:e测试服务平台

XPS小知识
Q:

UPS和XPS检测价带谱有什么区别?

(1)UPS的工作原理和XPS一样,但是能量远远小于X光,因此有比较好的能量分辨率来研究价带的电子结构,是XPS手段的一个重要补充;

(2)XPS探测的是芯能级的电子信息,反映的是对应元素的本征线性,由此来对材料的元素组成,元素价态情况等进行分析;而UPS探测的是价带电子的结构信息,价带电子在材料中比较巡游,到处运动,反应的是整个材料的关联电子结构;

(3)一般的UPS光源通过对惰性气体放电来实现,He、Ne、Ar、Kr、Xe等,能量一般在几十个eV左右。

Q:

XPS测试产生误差的原因有哪些?

(1)样品本身污染,或测试过程被周围样品污染;

(2)样品不均匀,因为测试区域仅500微米,不同位置结果差别可能比较大;

(3)XPS是半定量分析,和元素实际含量会有出入,XPS测试的是样品表面信息,不代表样品整体性质。

Q:

扫描次数和步长对XPS测试数据有什么影响?

(1)关于扫描次数:有些元素含量低,对扫描次数有要求,但是不同仪器设置的参数不一样,所以不能只看扫描次数,每个数据里面有扫描次数和扫描时长,如下图所示:

扫描次数25次,扫描时间9min36sec(步长0.05ev)

(2)关于步长:常规步长0.05ev,如果谱图范围比较宽,建议用0.1ev,缩短扫谱时间;下图分别是步长0.05、0.1ev,对于谱图范围宽的,明显步长大的信噪比更好;(步长大,数据间隔变小,数据的精细程度下降,噪点消失;但是谱图较窄且步长设置较大的话就会影响数据精度)。

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