教程| 学习XPS小知识
来源：e测试服务平台
UPS和XPS检测价带谱有什么区别？
（1）UPS的工作原理和XPS一样，但是能量远远小于X光，因此有比较好的能量分辨率来研究价带的电子结构，是XPS手段的一个重要补充；
（2）XPS探测的是芯能级的电子信息，反映的是对应元素的本征线性，由此来对材料的元素组成，元素价态情况等进行分析；而UPS探测的是价带电子的结构信息，价带电子在材料中比较巡游，到处运动，反应的是整个材料的关联电子结构；
（3）一般的UPS光源通过对惰性气体放电来实现，He、Ne、Ar、Kr、Xe等，能量一般在几十个eV左右。
XPS测试产生误差的原因有哪些？
（1）样品本身污染，或测试过程被周围样品污染；
（2）样品不均匀，因为测试区域仅500微米，不同位置结果差别可能比较大；
（3）XPS是半定量分析，和元素实际含量会有出入，XPS测试的是样品表面信息，不代表样品整体性质。
扫描次数和步长对XPS测试数据有什么影响？
（1）关于扫描次数：有些元素含量低，对扫描次数有要求，但是不同仪器设置的参数不一样，所以不能只看扫描次数，每个数据里面有扫描次数和扫描时长，如下图所示：
扫描次数25次，扫描时间9min36sec（步长0.05ev）
（2）关于步长：常规步长0.05ev，如果谱图范围比较宽，建议用0.1ev，缩短扫谱时间；下图分别是步长0.05、0.1ev，对于谱图范围宽的，明显步长大的信噪比更好；（步长大，数据间隔变小，数据的精细程度下降，噪点消失；但是谱图较窄且步长设置较大的话就会影响数据精度）。
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