微光显微镜EMMI分析

​微光显微镜EMMI分析

侦测到亮点之情况：

1.漏电结；

2.解除毛刺；

3.热电子效应；

4闩锁效应；

5氧化层漏电；

6多晶硅须；

7衬底损失；

8.物理损伤等。

侦测不到亮点之情况：

1.亮点位置被挡到或遮蔽的情形（埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置）；

2.欧姆接触；

3.金属互联短路；

4.表面反型层；

5.硅导电通路等。