PFY、FTY、RTY

最终合格率(Process Final Yield,PFY)：过程的最后合格率，终点考量，无法确认过程返工、失效等。首次合格率(First Pass Yield, FPY=FTY)：一次通过率，去除所有返工量后的过程合格率。流通合格率(Rolled Throughput Yield,RTY)：是构成过程的各子过程FTY乘积。