铝酸镁钪（ScMgAlO4）晶体-一种GaN和ZnO异质外延用理想的衬底材料

铝酸镁钪（ScMgAlO4）

ScAlMgO4晶体是最近发展起来的一种GaN和ZnO异质外延用理想的衬底材料，是目前与GaN和ZnO晶格失配最小的新型衬底材料。ScAlMgO4晶体属于六方晶系，晶格常数a=0.3246nm，c=2.5195nm，具有菱形六面体层状结构，与纤锌矿氮化物和氧化锌的结构相似。

ScAlMgO4是一种与GaN和ZnO 晶格常数和结构非常匹配的衬底材料（表1）。它与GaN的晶格失配率约为1.8%，与ZnO的晶格失配率仅为0.09%，a轴的热膨胀系数为6.2×10-6/℃，c轴的热膨胀系数为12.2×10-6/℃，与GaN、ZnO外延薄膜之间的热膨胀系数失配比传统的蓝宝石和硅等衬底好的多。

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yyp2021.6.22