至纯科技

这家芯片设备小龙头湿法订单连续两年翻倍增长，下半年订单供不应求已排产到三季度

至纯科技调研要点：2021.1.14

①这家芯片设备小龙头湿法订单连续两年翻倍增长，下半年订单供不应求已排产到3季度；
②公司晶圆再生业务一季度已通过客户认证流片，是国内第一条可满足12英寸、14nm晶圆再生需求的产线，一期产能7万片/月；
③风险提示：调研内容仅为机构与上市公司间的业务交流，不构成投研观点，信息以上市公司公告和分析师公开报告为准。

至纯科技1月11日经营沟通电话会议纪要显示，2020年湿法设备交付给客户的装机地点从北京、上海、无锡、长沙延伸到台湾新竹，工艺节点包括0.35微米到28nm，包括先进工艺、功率器件、微机电器件、第三代化合物半导体、集成电路的设计和研发等。2020年年底，公司在国内一个重点项目上获得突破，获得批量的湿法订单，包括单片的、特殊工艺（高温硫酸、晶背清洗、二流体清洗、异丙醇干燥）等机型，进一步填补了国产装备在湿法工艺领域的空白。旗下的至微科技向合肥长鑫交付了一台12英寸的特殊工艺的单片设备，晶圆表面的颗粒清洗、每小时的出产量上等指标可以覆盖14nm以下的工艺节点。公司目前对标的是国际湿法设备龙头DNS，DNS在国内的市占率约50%，至纯的国内市占率不到10%，至纯有信心在2022年完成5年累计200台的装机目标。

调研过程中，公司透露，2020年公司订单总体增速在30%，湿法设备的增速要远远高于高纯工艺，湿法设备的订单2018年1个亿、2019年2个亿，2020年新增订单不止4个亿。最新一期的公众号里面，公司已经披露最新的单片订单已经超过10台，合同金额超过3亿，在明年陆续会发货交付。

槽式设备方面，2020年交付了将近30台，年初考虑启东达产制定了48台的目标，受到疫情影响，启东直到3月底才允许工程师进厂生产。之后遇到北京的疫情，6月中旬封闭了1个月，导致北方客户无法按时进厂调试安装，相应的订单由于不可抗力进行了延后，下半年的订单处于一个供不应求的状态，现在的订单已经排到2021年3季度。预计21年湿法设备业务将实现大幅盈利。

此外，晶圆再生业务今年第一季度就可已通过相关客户的认证和流片，建成以后是国内第一条可以满足12英寸、14nm晶圆再生需求的产线，目前第一期产能7万片/月，国际上清洗的价格在30-35美金/片作者：JayTC