MEMS技术发展史

​MEMS技术发展史

MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。

下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少?

1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley)

1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith)

1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年)

1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman)

1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite)

1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等)

1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等)

1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺)

1971年，发明微处理器

1979年，惠普微加工喷墨喷嘴

1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen)

1982年，LIGA进程(德国KfK)

1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔)

1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔)

1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。

1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊)

1985年，发现"Buckyball"

1986年，发明原子力显微镜

1986年，硅片键合(M.Shimbo)

1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器)

1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller)

1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。

1991年，发现碳纳米管

1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom)

1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔)

1993年，数字镜像显示器(德州仪器)

1993年，MCNC创建MUMPS代工服务

1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices)

1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利

1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术

1999年，光网络交换机(朗讯)

2000年代，光学MEMS热潮

2000年代，BioMEMS激增

2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。

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