江苏吴江防静电车间设计装修经验

微电子无尘车间设计中往往会因为静电引起事故发生,因此在微电子无尘车间的设计装修上,防静电能力已经成为评价其质量的一个重要方面。微电子无尘车间静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,例如气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人体和衣服的摩擦,衣服与衣服之间的摩擦,再加上工艺上的研磨、喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作等可能产生静电。那要想在江苏吴江设计装修一个防静电车间,该怎么做呢?CEIDI西递在实验室、洁净车间及工业装修领域为千余家企业打造了许多标志性工程,成为业内参照的模板,我们可以借鉴该公司的经验。

1.工厂环境建设

工厂环境内应该如何防静电?CEIDI西递的对策核心是:设置静电对策用接地线。在一般的情况下,工厂内的设备接地是与静电地线分离,而在工程内则会单独铺设防静电对策用的接地线,此外,还能与铺设接地线对策并用。同样,CEIDI西递对加湿工程内的湿度管理也进行对策管理:车间湿度控制在50~60%RH左右,最大限度地、有效地预防静电的产生。

2.作业环境建设

工程内的使用物品,比如作业台、作业椅等采取的基本对策是连接地线,保证静电的释放路径的正确性。在工厂内有带电可能性场所的使用表面阻率为104~109Ω·m之间的材料,而且要注意与静电对策用接地线相连接起来。另外,当使用不锈钢钢板时,如果自身的阻率比较低,电流会突然通过接地线,这样会造成半导体的破损和设备的漏电,所以CEIDI西递从保护人身安全角度出发,在通路中加入1MΩ(106Ω)的电阻。

3.设置防静电区域

(1)依据防静电要求设置防静电区域,并标示明显的防静电警示标志,按作业区所使用的器件的静电敏感程度分为3个等级,等级不同,制定的防护措施也不同。

1级静电敏感程度范围:1-1999V;

2级静电敏感程度范围:2000V-3999V;

3级静电敏感程度范围:4000V-15999V;

16000V以上是非静电敏感产品。

(2)静电安全区(点)的室温为20~26℃,相对湿度是45~70%RH。禁止在低于30%的环境内操作SSD(静电敏感源器件);

(3)静电敏感源器件(SSD)运输、存储、使用要求:

1)SSD运输过程中不能掉落在地上,不能任意脱离、拆开包装;

2)存放SSD的库房相对湿度:30~40%RH;

3)SSD存放过程中保持原包装,若需更换包装,要使用具有防静电性能的容器;

4)装配、焊接、修版、调试等操作人员都必须严格按照静电防护要求进行操作。

作为一家专注于为实验室、洁净室、动物房、手术室等洁净工程提供规划、设计、装修、家具及配套工程一体化服务的集成服务商,CEIDI西递目前已为比亚迪等多家企业设计装修了电子防静电车间,实操经验丰富,是一家值得合作的EPC工程总承包服务商。

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