半导体失效分析测试项目有哪些?

​半导体失效分析测试项目有哪些?

平时工作中用到的有Decap;X-Ray;SAT;3D X-Ray;IV;FIB;EMMI;SEM;EDX;OM;Probe;切割制样;Rie;定点研磨;非定点研磨;高温存储;低温存储

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