ASM(L)和电子束光刻
这篇是上一篇《LAM和电子束光刻》的姊妹篇：关于创新、勇气、运气和经营管理矛盾交织的故事。
一、
《光刻巨人》里有一个遗憾，就是对创始人Arthur Del Prado先生被迫退出ASML没有心理描写。
如果读者有机会看一本关于他50年创业征程的厚达900多页的书《Fortunes of High Tech》，将会感叹Del Prado先生的一路坎坷。
今天ASM International(ASMI) 市值106亿欧元，
ASM Pacific(ASM PT)市值465亿港币；
从ASM出走的ASML市值2226亿美金，
BESI(含前ASM Fico)市值45亿欧元。
这些神迹一样的数字，背后又有怎样的故事呢？
二、
荷兰ASM(先进半导体材料)公司的早期生意也是从代理开始，“贸工技”并没有什么可指摘的。
1970年ASM的CVD创新带来黄金的1980年代上半期，这也是ASML诞生的物质基础。在80年代中期，ASM是全球罕见的同时拥有光刻、沉积、离子注入和各种封装设备的全系列半导体服务商。
而随后资金的匮乏和短视的投资者给了Del Prado先生无尽的压力和烦恼。
Del Prado先生骨子里的创新原动力，和股东要求短期的价值回报产生了激烈的冲突。
半导体行业的风雨动荡，使得ASM从80年代后期到00年代一路颠簸。除ASML外，他还卖掉了离子注入(ASM Ion Implant)和芯片级封装(ASM Fico)子公司。
接下来，我们重点看一下2007-2008金融危机时的ASM公司。
三、
ASM Pacific是ASM的亚太分支，包含中国和东南亚地区，而日本和韩国由于半导体强大所以有单独的分支来负责。
考虑到亚洲的特殊文化，Del Prado先生从一开始就让本土人主导管理，而结果是成功的。
那时候中国半导体还相对落后，所以ASM Pacific的主要目标是后端封装和贴片设备。这带来一个扎实的落脚点，并一路成功走到今天。
而总部的ASM International，却由于产品竞争力落后于AMAT等公司，陷入生存的困境。
ASM的投资者要求剥离赚钱的ASM Pacific，他们其实希望亏损的总部早点关掉。但Del Prado希望Pacific补贴总部的半导体前端设备研发和运营。
而且Del Prado手中的一件大杀器正等待开花结果。
四、
由于各种PE股东的压力，2008年老Prado选择退休，但他力主传位给儿子小Prado。这在东亚天经地义的做法，却遭到投资机构的强烈反对，认为此举违反现代公司治理原则。
由于半导体行业需要不断烧钱引入外部投资，Prado家族当时只拥有ASM约35%的股份了。
股东Fursa(原纽约梅隆旗下的对冲基金)因为也投资了AMAT，两家一起配合质疑Prado父子的管理能力，并要求分拆公司出售。
当年被迫放弃ASML的阴影使得Prado父子奋起反抗，成立基金会暂时保住了公司控制权。
然而，事情没有结束。
AMAT随后出价仅4-5亿美元试图购买ASM最核心的沉积业务。这时是2008年，大家还记得那时半导体业崩盘到什么情况吧。
幸运的是，正当ASM考虑断臂求生时，似乎AMAT觉得在金融危机中花钱有所不妥撤回了报价。
但是，救命钱从哪里来呢？
五、
这要说到前文提到的大杀器了。
这就是ASM已经研发了10年的原子层沉积技术(ALD)。
45nm以下的先进制程中，传统的氧化薄膜走到漏电的极限。而应用ALD的High-K金属栅(HKMG)漏电少了一个数量级。
ALD是ASM手里的王炸，但现在牌拿在手里还炸不了，因为英特尔的主流量产还在65nm。
由于High-K/ALD是延续上个10年摩尔定律的重要技术，在2009年英特尔给了ASM救命钱。但是这个投资是保密的，所以几乎没有机构跟投，仍缺钱的ASM晶圆前端裁员1/4。
Fursa等外部投资者还在董事会在干扰公司运营，他们把控制权官司打到2012年。最高法院最终支持了Prado父子，小Prado也证明了自己是个合格的管理者。
直到2013年，靠ASM Pacific后端业务输血近10年后，ASM的前端业务才恢复了盈利。
因为High-K终于成为主流。ASM International在巨头夹攻中开辟了新的战场并一路展翅高飞。
五、
老Del Prado是否功成名就退隐江湖了呢？
并没有。
退休后他继续把毕生所得投入了主攻电子束光刻的Mapper Lithography，掀起了对“逆子”ASML的最后一战。
我们提到过，EUV在头十几年并不被看好，即使到了2015年包括英特尔台积电在内的各路专家也没觉得它能用。
Mapper公司是荷兰代尔夫特大学的嫡子，看过《光刻巨人》的朋友应该知道这相当于荷兰的清华。
Mapper的目标是用13260支电子束来提高“光”刻效率。Mapper不仅得到大量政府补贴，台积电也有投资并积极地在Fab配合试验。
浸入光刻先驱林本坚先生，是Mapper的拥护者。
检测和制程控制之王KLA，也是Mapper的投资机构。
鉴于这么多大佬都认为电子束光刻可行，我们也不能想当然认为EUV是唯一的出路。只是电子束要烧多少钱才能做出HVM产品和形成产业生态，没有人知道。
2016年老Del Prado同志与世长辞。Mapper失去了重要的行业影响大咖，他们的样机只做到2000支电子束并且存在很多问题。
在EUV前景逐渐明朗的情况下，努力了近20年的Mapper公司难以继续融资，并在2018年圣诞节后宣布破产。
仅一个月后，ASML迅速收购了Mapper的IP资产和收编了大多数研发人员，并关闭了这条产品线。虽说ASML也有电子束检测设备，但此举更像是对EUV曾经对手的斩草除根。
六、
今天，挂着“ASM”Logo的ALD设备生产的CPU，躺在我们大多数人的电脑或手机里。
ASM PT分拆独立的声音一直不绝于耳。作为一家扎根中国的香港上市公司，她为中国经济建设也做出了突出的贡献。
从二战日本集中营生还的Arthur Del Prado先生，去世后的遗产仍然在影响着我们的生活。
这篇小文只是抛砖引玉，在半导体行业的传奇英雄多如璀璨星辰。