光刻胶配合物（正胶显影液/正胶稀释剂/SU8 显影液/RD-HMDS/OMNICOAT）

光刻胶配套试剂品名主要成分包装应用正胶显影液TMAH 2.38%4LR/PC正胶显影液正胶稀释剂PGMEA4LR/PC稀释剂SU8 显影液PGMEA4L/PC显影SU8光刻胶RD-HMDSHMDS500ml/PC增粘剂OMNICOAT见MSDS500ml/PCSU-8增粘剂光分解型光刻胶，采用含有重氮醌类化合物(DQN)材料作为感光剂，其经光照后,发生光分解反应，可以制成正性光刻胶；光交联型光刻胶采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料，在光的作用下，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，可以制成负性光刻胶。

光分解反应示意图在半导体集成电路光刻技术开始使用深紫外（DUV）光源以后，化学放大（CAR）技术逐渐成为行业应用的主流。在化学放大光刻胶技术中，树脂是具有化学基团保护因而难以溶解的聚乙烯。化学放大光刻胶使用光致酸剂（PAG）作为光引发剂。

光交联反应示意图当光刻胶曝光后，曝光区域的光致酸剂（PAG）将会产生一种酸。这种酸在后热烘培工序期间作为催化剂，将会移除树脂的保护基团从而使得树脂变得易于溶解。化学放大光刻胶曝光速递是DQN光刻胶的10倍，对深紫外光源具有良好的光学敏感性，同时具有高对比度，对高分辨率等优点。

化学放大光反应示意图按照曝光波长分类；光刻胶可分为紫外光刻胶（300~450nm）、深紫外光刻胶（160~280nm）、极紫外光刻胶（EUV，13.5nm）、电子束光刻胶、离子束光刻胶、X射线光刻胶等。不同曝光波长的光刻胶，其适用的光刻极限分辨率不同。通常来说，在使用工艺方法一致的情况下，波长越短，加工分辨率越佳。(10-苯基蒽-9-基)硼酸334658-75-2[10-(1-萘基)-9-蒽]硼酸400607-46-7B-(10-[1,1'-联苯]-4-基-9-蒽基)硼酸400607-47-89,9-二甲基芴-2-硼酸333432-28-39,10-双(2-萘基)蒽-2-硼酸867044-28-810-(2-萘基)蒽-9-硼酸597554-03-59,9-二甲基-2,7-芴二硼酸866100-14-3B-9,9'-螺二芴-2'-基硼酸236389-21-2B-[3-(4-二苯并噻吩基)苯基]硼酸1307859-67-1B,B'-2,8-二苯并呋喃二基二硼酸1222008-13-0吡啶-3-硼酸1692-25-7喹啉-3-硼酸191162-39-7喹啉-8-硼酸86-58-89H-咔唑-1-基硼酸869642-36-4二苯并噻吩-2,8-二硼酸761405-37-29-苯基咔唑-2-硼酸1001911-63-2(9-苯基-9H-咔唑-3-基)硼酸854952-58-24-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸419536-33-73-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸864377-33-3B-[2-(9H-咔唑-9-基)苯基]硼酸1189047-28-6二苯并呋喃-4-硼酸100124-06-9B-2-二苯并噻吩基硼酸668983-97-9联硼酸新戊二醇酯201733-56-4联硼酸频那醇酯73183-34-3二苯并噻吩-2,8-二硼酸761405-37-24-溴苯硼酸5467-74-34-氯苯硼酸1679-18-1硼酸三异丙酯5419-55-63-(2-三亚苯基苯硼酸)频哪醇酯1115639-92-33-甲氧基-2-萘硼酸104115-76-6Benzofuran-2-boronic acidCAS 98437-24-22,4-Dichlorophenylboronic acidCAS 68716-47-2[3-(3-Pyridinyl)phenyl]boronic acidCAS 351422-72-59-(3-bromophenyl)-9-phenyl-9H-fluorene1257251-75-4B-[4-(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯基]-硼酸952514-79-3[4-(2-苯基-1H-苯并咪唑-1-基)苯基]硼酸867044-33-5四氟硼酸银14104-20-2三亚苯-2-基)硼酸频哪醇酯890042-13-49,9-螺二芴-2-硼酸频哪醇酯884336-44-13-氟-2-甲酰基苯硼酸871126-15-75-氯-2-甲酰基苯硼酸870238-36-1B-(10-[1,1'-联苯]-2-基-9-蒽基)硼酸400607-48-94-（3-吡啶基)苯硼酸170230-28-12-氯-4-(联苯-3-基)-6-苯基-1,3,5-三嗪1689576-03-14-硼酸三苯胺201802-67-79-菲硼酸新戊二醇酯1416371-19-13,5-二甲基苯硼酸172975-69-8二苯并[b,d]呋喃-3-硼酸395087-89-52-溴螺[9H-芴-9,9'-[9H]氧杂蒽]899422-06-19,9-二苯基-3-溴芴1547491-70-24-溴芴酮4269-17-42,7-二溴-9,9-二苯基芴186259-63-25,9-二溴-7,7-二苯基-7H-苯并[c]芴854952-90-22-溴-9,9-二氟-7-碘-9H-芴1499193-60-09,9-二甲基-2-溴芴28320-31-29-溴-7,7-二甲基-7H-苯并[c]芴1198396-46-12,2,7,7-四溴-9,9-螺二芴128055-74-34-溴-9,9-二苯基芴713125-22-52-氨基-9,9-二甲基芴108714-73-42-溴-9,9-二苯基芴474918-32-69-(4-溴苯基)-9-苯基芴937082-81-09,9-二苯基-2-氨基芴1268519-74-92,7-二溴-9,9-二甲基芴28320-32-32-溴-9-芴酮3096-56-8wyf 01.26