超声波扫描显微镜SAT

​超声波扫描显微镜SAT是一种利用超声波为传播媒介的无损检测设备。通过发射高频超声波传递到样品内部，在经过两种不同材质之间界面时，由于不同材质的声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度的不同，进而采集的反射或者穿透的超声波能量信息或者相位信息的变化来检查样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷。

SAT应用范围：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电

传感器件、SMT贴片器件、MEMS等

SAT检测内容：

1.材料内部的杂质颗粒、夹杂物、沉淀物

2.内部裂纹

3.分层缺陷

4.空洞、气泡、空隙等