MES Overview / 四六文摘

1， MES Overview：

(ア) MES – Manufacturing Execution System：该系统使用计算机来管理和分析在生产线上流动的每个产品的所有过程，设备，条件和工作数据，从而提高质量，提高产量，并执行和支持更有效的生产，例如减少工作错误。

2， Micron Central Material Tracking Overview

(ア) MES的更新系统：制造工程的过程中，对所有的产品，非产品的Lot进程状态的管理工具。例如：Lot的状态，历史记录，操作（停止，分割）等

3， SPC Essential：

(ア) SPC – Statistical Process Control：统计的工程管理系统，对于误差的追踪和降低，对进程的监视。

4， Toolview Overview：

(ア) ToolView：用于实时监控和管理Lot和设备状态的操作的用户界面。其中是很多工具的组合。

5，SPACE system for MFG Level 2：

(ア) SPACE – Statistical Process Analysis and Control Environment：将数据SPC化的工具。

6，ETO（Equipment Tracking Operations）：装置运转的变更，装置设备的管理。

Micron Central Material Tracking Overview ---知识点总结

1，软件的打开方式：Micron Central –> material tracking

2，前言：对于micron feb内工作的人员来讲，了解物料的跟踪很重要（material tracking），通过正确的跟踪晶圆，可以几乎没有错误的平稳高效的进行生产。

3， Lot：1Lot是由最多25个晶圆片（wafer）组成。

Step：在处理Lot进行制品的时候，每一个制品步骤。

Traveler：产品制造的过程和信息的排列（很多步骤的组合）。

Foup：半导体工厂用于300mm晶圆运输和存储的载体。

Fosb：300mm晶圆密封转移容器，用于洁净室外部，用于存储晶圆并将其运送到工厂的实验室。

Lot Traveler　(ロットトラベラー)的定义：在Micron system中，为了按照设计进行Lot处理，准备了LOT TRAVELER。

这是记载着产品制造所需的所有工序和信息的东西，Lot在Travel内的所有必要工序按规定的顺序流动。简单的称为Traveler。

为了最大程度地减少在按照Traveler定义的顺序Lot进行处理时错过操作的风险，物料跟踪会管理Lot处理的进度。

Traveler的详细信息是动态变化，可能会根据情况而变化。

以汽车公司为例，因为制造汽车的步骤的顺序很重要，所以必须按顺序进行。如果跳过安装轮子的步骤，就会出现没有轮子的汽车。如果没有安装轮子，你可能需要改变生产顺序来修正这个错误。然后，将会动态的更改Traveler。与处理单个晶片相比，处理10,000个晶片的过程更具挑战性。

4，Micron Central – 概要

Micron Central是在制造过程中监视所有Lot生产。

Micron Central可以帮助操作员，技术人员，工程师和经理跟踪产品并确定何时可以将产品交付给客户。

Micron Central Material Tracking Overview（物料跟踪系统）

通过正确的跟踪晶圆，可以几乎没有错误的进行平稳的生产。

MES Fab トラッキング是老版本，而此次学习的是新版本。

关键词组

ユーティリティ：本来的含义是“有益的”，但它指的是提供给设施的公用的东西（水，电，气，热等）。

Real time detect Analysis（RDA）：随时进行缺陷分析。

MT GROUP：该帐户是属于某个组的所有成员公用的帐户，也用于电子邮件地址。

NPW：一种非产品晶片，用于代替产品晶片，主要用于确认Lot质量和设备管理。

ソーター：晶片的垫片机（更换机）。

4，由很多功能组构成，例如：Query，Lot，Wafer，Utility等等，每一个都设计用于不同的任务，例如Lot的跟踪，分割，合并等等。

5， Micron Central – Lot Status，通过此功能，可以知道：当前的traveler的step数，待处理的Step数，Lot的状态，wafer的数目，Lot的位置。

Track Lot：通过此功能，可以从一个程序的一个step移至下一个step，而且，大多数step都是自动完成的。

Stage Lot：可以预约执行的step。

Lot Hold/Release：Lot的停止/解除停止。

Split Lot：Lot的分割。

Merge Lot：Lot的合并。

SPC Essential （Statistical Process Control-统计进程/制程的控制）

1，用于制品过程的监视，控制的一种连续改进的方法。

2，管理図 (Control chart)主要的作用：在制品制作的过程中，能够实时的发现变化，尽可能最早的发现异常，而非在成品检测时甚至在产品到达客户时才发现变化。

MES Overview